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第518章 与成光所合作(3 / 5)

些,在复制时进行了一些改进。

两个月后湖研所又拿到了成光所制造的第二台光刻机,而此时成光所也第一次见到了重光的新镜头,这套价值550万由长光所根据湖研所提供的图纸进行加工组装的具有二十片镜片五个套筒完整微气压调节系统和纳米级激光校准系统的高级镜头组立刻就让成光所负责技术合作的科学家和工程师们目瞪口呆,觉得湖研所里一定有不世出的奇人,这种神器说是十年磨一剑设计出来的也不过分啊。

按照湖研院的安排,成光所交付的第一台光刻机被用于08微米制程下的流片与双胶涂覆工艺的制程实验,这第二台自然是要用于镜头改装的,将来的第三台是要进行双工件台智能联动镜头像场精密校准项目的。

经过连续几个月的合作之后,成光所现在对重光湖研院的技术佩服的五体投地,对他们的三大技术路线再也没有任何怀疑,马所长前后已经来过湖研院三次,每次都带着激动和兴奋,对湖研院在项目上的每一次进展都啧啧称奇,对于幕后主导这三大重点技改项目的胡一亭更是惊为天人,马所总是以天才胡一亭称呼那位还没见过面的心仪人物,断言其必然成为国内ic业未来领袖。

所以这次胡一亭按照日程回到湖山之后,就在湖研院见到了希望和他面谈的马佳光所长还有成光所目前驻扎湖研所的的二十几位顶尖科学家和工程师组成的团队。

双方经过商议后,胡一亭和马佳光所长共同敲定了重光湖研院和成光所共同研发035微米先进光刻系统的实施计划。

“目前重光第一晶圆厂已经进了设备,用的是asml的i-line光刻系统,他们这台光刻机,每套设备价值400万美元,马所,如果我们重光能搞定实验室技改,希望你们成光所能尽快拿出整套样机,到时候我们重光还按照400万美元的价格向你们采购,今后重光公司要新建的035微米制程晶圆厂也将尝试采用国产光刻系统!中国自己的设备如果不在生产中大量使用,我们永远都发现不了问题,也就没法进步,重光愿意为中国设备的进步赴汤蹈火,吃亏吃苦!”

马佳光所长听了胡一亭这话感动异常:“一言为定!我同意胡总你的说法,只有生产实践才能使国产设备不断提高水平!研制出设备不等于量产设备!最终制造出的设备能否长时间稳定持续生产,这才是最大的考验!跑第一张wafer的刻蚀率与第四万张的刻蚀率之间的差值是否一样能达到工艺要求?设备第一年连续运行的故障率能控制在多少时间?设备在运行几年后还是否能进行工艺改造升

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